高純氧氣用于二氧化硅的化學氣相沉積； 作為氧化源和生產(chǎn)高純水的試劑； 干氧化與四氟化碳混合用于等離子體蝕刻。

應注意高純氧氣的安全，并應做好防震，防火，耐熱和防油等工作。 高純氧氣可以促進燃燒。應將其保存在陰涼處。 嚴禁接觸煙花和易燃材料。 請勿在氧氣計的螺旋形嘴上放油。

對于不同類型的氣體（例如氮氣，氫氣，氬氣和氦氣），高純氣體具有不同的純度指標。

工業(yè)氧氣通常只需要氧氣純度，而對其他衛(wèi)生條件沒有特殊要求。 同時，它還包含有害氣體，例如一氧化碳，甲烷，濕氣，細菌和灰塵。 工業(yè)氧氣主要用于焊接和氣焊、氣割等。

工業(yè)氧氣是用于工業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品加工的氣體。 低質量要求通常要求純度達到99％或更高。 填充程序不如醫(yī)用氧氣嚴格。 水和其他雜質經(jīng)?；烊氩⒈Ａ粼谘鯕馄康难鯕馄恐?。 混入并殘留在鋼瓶中的水將導致氧氣瓶的內壁生銹，這將導致瓶中的氣體產(chǎn)生異味。

氧氣是空氣的成分之一，無色，無味，無味。 氧氣的密度大于空氣的密度，在標準條件下（0°C和大氣壓101325 Pa），密度為1.429 g / l。 氧氣的大規(guī)模生產(chǎn)方法是分餾液態(tài)空氣。 首先，空氣被壓縮，并且在膨脹和膨脹之后被凍結為液態(tài)空氣。 由于稀有氣體和氮氣的沸點低于氧氣，因此分餾后，剩下的就是液態(tài)氧，可存放在高壓鋼瓶中。

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